岛津减反射膜成膜装置MCXS及检查装置S

讯：针对晶体硅片的生产工艺，岛津制作所即将展开减反射膜成膜装置 MCXS 以及检查装置 SCI 系列2种机型的销售。

目前，中国正在从确保需求和扶持本地企业等观点出发导入优惠政策，而美国和印度则已经具备了系统的良好条件，同时在日本，已经开始启动可再生能源的固定价格购买机制，在上述国家和地区，太阳能电池市场正在逐步扩大。此外，从长远观点来看，伴随着发展中国家的经济增长和生活水平的提高，能源需求正在急剧增加，特别是具备良好日照条件的非洲、中东、南美、东南亚等地区，估计这种需求会进一步扩大，预计到20 0年，输出发电量将为2012年的 .2倍，即，128，600 MW＊1。

在此情况下，可以进一步降低制造成本，并且具备更高耐性、以期能够解决目前造成大型站等系统全体输出降低的重大问题PID（Potential Induced Degradation：电压诱发输出衰减）的太阳能电池需求更加突出。

而作为能够实现减少太阳光反射、提高能量吸收，有助于提高发电效率的减反射膜及其成膜装置，更应该以此需求为课题，不断追求更高标准性能和生产效率。

为此，岛津通过采用新开发的中空阴极等离子源和直接等离子法，成功开发出具备高产能、低运行成本，且具有更高PID耐性的减反射膜成膜装置（CVD） MCXS 。本装置，通过高密度等离子修复表面和内部存在的结晶缺陷，改善太阳能电池多的特性，进而提高转换效率。

此外，因采用低频、高密度等离子进行高速成膜，使用 MCXS 生产的晶体硅太阳能具备高PID耐性，该特性已经获得了日本独立行政法人产业技术综合研究所（AIST）主办的 第二期高可靠性太阳能电池模块开发、评价联盟 的验证结果证实。本成果，亦于201 年 月28日在 第60届应用物理学会春季学术讲演会 上发表。

而另一方面，太阳能电池的品质竞争也更加激烈。生产效率在不断提高，品质管理更加严格，目前在的生产工序中以人工检查为主的现状，迫切需要升级为自动化检查方式。

针对上述需求，岛津新近开发了可以以1台设备同时检查硅片微裂隐裂和外观的复合检查装置 SCI-8SM 和业内最小尺寸＊2的外观检查装置 SCI-8S 。

此检查装置，对于防止因生产线停止造成的长时间生产中断和提高成品率具有显著效果。

岛津希望通过向日益扩大的太阳能电池市场提供上述 个产品，为普及环保型可再生能源做出贡献()。